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三(4-甲苯基)锍六氟磷酸鹽
CAS No.: 146062-15-9
分子式: C21H21F6PS
分子量: 450.42
備注: 光致產(chǎn)酸劑
用于KrF,ArF
光刻膠產(chǎn)品
結構式:


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